了解到，Primonanova是中微公司于2018年发布的第一代电感耦合等离子体刻蚀设备，采用了中微公司的电感耦合等离子体刻蚀技术。中微公司表示，目前，Primonanova产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆生产线，在逻辑芯片、DRAM和3DNAND厂商的生产线上实现大规模量产。